| 微机电系统的研究与分析 |
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| 引用本文： | 沈桂芬,张宏庆,韩宇,范军,付世,丁德宏,姚朋军. 微机电系统的研究与分析[J]. 传感技术学报, 2004, 17(1): 168-171 |
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| 作者姓名： | 沈桂芬 张宏庆 韩宇 范军 付世 丁德宏 姚朋军 |
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| 作者单位： | 辽宁大学物理系,沈阳,110036;辽宁大学物理系,沈阳,110036;辽宁大学物理系,沈阳,110036;辽宁大学物理系,沈阳,110036;辽宁大学物理系,沈阳,110036;辽宁大学物理系,沈阳,110036;辽宁大学物理系,沈阳,110036 |
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| 基金项目： | 吉林省沈阳市科技局资助项目，辽宁省科技厅资助项目 |
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| 摘 要： | 详细介绍了微机械电子系统的内涵.内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域.还介绍了微机械电子系统加工工艺,阐明了其涉及的科学技术问题,对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论.
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| 关 键 词： | MEMS 传感器 微机电系统加工工艺 |
| 文章编号： | 1004-1699(2004)01-0168-04 |
| 修稿时间： | 2003-08-18 |
Research and Analogy of MEMS |
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| SHENG Guifen,ZHENG Hongqing,HAN Yu,FAN Jun,FU Si,DING Dehong,YAO Pengju. Research and Analogy of MEMS[J]. Journal of Transduction Technology, 2004, 17(1): 168-171 |
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| Authors: | SHENG Guifen ZHENG Hongqing HAN Yu FAN Jun FU Si DING Dehong YAO Pengju |
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| Affiliation: | Physical Department ,Liaoning University , Shenyang 110036 , China |
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| Abstract: | This paper details the definition of micro-electromechanical system (MEMS). It contains discussions of micro-sensor and micro-actuator,technology of MEMS, and some questions as concerns having an interest in scrence and technique. The application and tendency of IT MEMS are also clarified. |
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| Keywords: | MEMS |
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