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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
MEMS电容薄膜真空计及其性能研究
作者姓名:
韩晓东
李刚
冯勇建
李得天
作者单位:
1. 厦门大学航空航天学院;2. 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
基金项目:
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805);
摘 要:
基于微机电系统(MEMS)技术研制了一种新型电容薄膜真空计,结合测量电路,对真空计的整体性能进行了研究。结果表明,MEMS电容薄膜真空计具有良好的稳定性,测量范围为0.2~1 050 Pa,分辨率为0.1 Pa,准确度达到0.1%FS。封装后的MEMS电容薄膜真空计质量为5.0 g,体积为4.1 cm
3
,整机功耗为2 W左右,具有质量轻、体积小、功耗低、成本低的特点,在空间应用以及工业生产应用中比传统的机械式电容薄膜真空计更具优势。
关 键 词:
MEMS
电容薄膜真空计
小型化
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