QMS101四极质谱计物理部分研制及适用性分析 |
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引用本文: | 冯天佑,陈联,王星辉,邱云涛,郭文,吴成耀,李玉成,成永军.QMS101四极质谱计物理部分研制及适用性分析[J].真空与低温,2022(4):490-496. |
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作者姓名: | 冯天佑 陈联 王星辉 邱云涛 郭文 吴成耀 李玉成 成永军 |
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作者单位: | 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(61901203); |
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摘 要: | 针对四极质谱计国产化需求,研制QMS101型四极质谱计。该质谱计物理部分为90°离轴结构,采用轴向敞开式EI型离子源,四极杆长度203.2 mm,场半径4.157 mm,配备了法拉第板和微通道板型电子倍增器(MCP)两种检测器,其中电子倍增器90°离轴安装。QMS101四极质谱计质量检测范围1~1 040 amu,偏转电极工作下法拉第板和MCP均检测正常。四极滤质器出口到MCP表面的离子运动轨迹模拟和MCP增益衰减实验表明,MCP应用于四极质谱计应对离子聚焦和收集面积进行匹配。QMS101物理部分可作为一种通用型四极质谱计分析器,配备不同射频电源可覆盖大多数四极质谱计应用需求。
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关 键 词: | 四极质谱计 90°离轴 微通道板 通用型分析器 |
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