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| 光纤珐珀高温压力传感器的设计与性能测试 | |
| 引用本文： | 赤娜,张瑶.光纤珐珀高温压力传感器的设计与性能测试[J].仪表技术与传感器,2021(4):8-13. |
| 作者姓名： | 赤娜 张瑶 |
| 摘 要： | 为了提高传感器在高温恶劣环境下的测试性能,结合单晶蓝宝石优异的特性,研究了一种能在高温恶劣环境下长期稳定工作的全蓝宝石光纤珐珀高温压力传感器,并对其设计、制造工艺及性能测试进行了详细的分析说明.首先,利用光纤珐珀干涉原理及斐索干涉仪的信号解调原理,对传感器进行了结构的设计;其次,采用蓝宝石刻蚀工艺、激光加工工艺及对蓝宝... |
| 关 键 词： | 高温压力 蓝宝石 光纤珐珀 |
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