基于激光干涉的位移传感器自动化校准装置

为提高位移传感器的校准准确度及效率,通过硬件系统组建及软件系统编制,研制了位移传感器自动校准装置。采用激光干涉仪作为长度基准,通过两级驱动的定位控制方式,可实现nm量级的高分辨力准确定位;综合考虑固有因素、环境因素及安装因素,进行了测量不确定度分析,分析结果表明其测量不确定度为U=(0.1+2L)μm;通过选用不同类型的位移传感器,依据校准规范进行了试验分析,验证了校准装置的合理性及有效性。