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| CdO - ZnO复合薄膜的光电学特性研究 | |
| 作者姓名： | 金健 栾书多 顾广瑞 |
| 作者单位： | (延边大学 理学院, 吉林 延吉 133002) |
| 摘 要： | 采用磁控溅射技术制备了不同原子百分比的CdO - ZnO复合薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见近红外分光光度计、四探针电阻测试仪研究了薄膜的结构和光电学特性.研究表明:适量增加CdO掺杂量可提高薄膜在近红外区域的透射率; CdO - ZnO复合薄膜的光学带隙和电阻率随CdO含量的增加而减小,且当CdO和ZnO的原子百分比为4:1时薄膜的带隙和电阻率分别为2.09 eV和10.79×10-3 Ω·cm.该研究结果可为制备高导电性和高透过率的薄膜提供参考. |
| 关 键 词： | CdO - ZnO复合薄膜 磁控溅射 掺杂 光学性能 电学性能 |
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