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| 电弧离子镀制备TiN/TiSiN多层涂层及其性能研究 | |
| 作者姓名： | 刘怡飞 宋启萌 李助军 田灿鑫 |
| 作者单位： | 广州铁路职业技术学院机电工程学院 广东广州510430;岭南师范学院物理科学与技术学院 广东湛江524048 |
| 基金项目： | 2021年“攀登计划”广东大学生科技创新培育重点项目（pdjh2021a0871）;第一批广州市高等职业教育双师工作室、2020年度普通高校重点科研项目（2020ZDZX2089） |
| 摘 要： | 为提高单一TiN涂层的性能,采用AS600DMTXBE型阳极层离子源辅助电弧离子镀系统制备TiN层和TiSiN层厚度比分别为1∶2、2∶2、3∶1的TiN/TiSiN多层涂层。研究不同厚度比的TiN/TiSiN多层涂层的形貌、结构以及性能,并与TiN涂层性能进行比较。结果表明：TiN/TiSiN多层涂层为TiN面心立方结构,其中厚度比为2∶2的TiN/TiSiN多层涂层的TiN(111)衍射峰较强;厚度比为1∶2的TiN/TiSiN多层涂层摩擦因数最低,表明掺入Si的含量越大,涂层减摩性能越好;TiN/TiSiN多层涂层的减摩作用、硬度和结合强度都优于TiN涂层,且厚度比为2∶2的TiN/TiSiN多层涂层的硬度和结合强度均最大;厚度比为2∶2的TiN/TiSiN多层涂层的耐腐蚀性最高,表明Si元素的掺入能够提升涂层的耐腐蚀性能。 |
| 关 键 词： | 电弧离子镀 TiN/TiSiN多层涂层 TiN涂层 硬度 摩擦学性能 |
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