|
|||||
|
|
| 微细阵列孔的电解加工精度研究 | |
| 引用本文： | 曾伟梁,王振龙,刘颖,宫彦萍.微细阵列孔的电解加工精度研究[J].电加工与模具,2009(2). |
| 作者姓名： | 曾伟梁 王振龙 刘颖 宫彦萍 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨师范大学信息科学系,黑龙江哈尔滨,150080;哈尔滨工业大学特种加工与机电控制研究所,黑龙江哈尔滨,150001 2. 哈尔滨工业大学特种加工与机电控制研究所,黑龙江哈尔滨,150001 3. 哈尔滨师范大学信息科学系,黑龙江哈尔滨,150080 |
| 基金项目： | 黑龙江省教育厅科学技术研究项目，哈尔滨师范大学青年学术骨干资助计划项目 |
| 摘 要： | 从电解加工的特点出发,对影响微细阵列孔加工精度的因素进行了分析.电解加工过程中,工具阴极和工件阳极之间存在加工间隙是导致误差的根源.微细阵列孔的电解加工误差可分为复制误差和重复误差,电场强度的分布状态和杂散腐蚀是造成复制误差的最重要因素,而气泡在加工区域的堆积导致了重复误差的产生.通过理论和实验分析,为实验加工提供了提高加工精度的措施和办法. |
| 关 键 词： | 微细阵列孔 电解加工 复制精度 重复精度 |
Research on EMM Precision of Micro-hole Array |
|
| Zeng Weiliang,Wang Zhenlong,Liu Ying,Gong Yanping.Research on EMM Precision of Micro-hole Array[J].Electromachining & Mould,2009(2). | |
| Authors: | Zeng Weiliang Wang Zhenlong Liu Ying Gong Yanping |
| Affiliation: | 1.Harbin Normal University;Harbin 150080;China;2.Harbin Institute of Technology;Harbin 150001;China |
| Abstract: | In this paper,according to the characteristics of electrochemical micromachining(EMM),the impact factors of micro-hole array machining precision are analyzed.In process of EMM,gap between tool and workpiece cathode anode is the root cause leading to the error.EMM error of Micro-hole array can be divided into duplicatio error and repeated error,the distribution of electric field strength and spurious corrosion are the most important causation of copying error,while the accumulation of air bubbles in the proc... |
| Keywords: | micro-hole array EMM duplication error repeated error |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |