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| 微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理 | |
| 作者姓名： | 邢建平 李秀宇 曾繁泰 李伟业 蔡成森 李娟 孟令国 |
| 作者单位： | 山东大学信息科学与工程学院,济南,250100 |
| 摘 要： | 利用粉末反溅研制了SnO2/CeO2Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间＜10s,恢复时间＜15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,并使用Matlab软件进行了仿真. |
| 关 键 词： | 薄膜 气敏 过冲驰豫 |
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