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| 基于改进的连续型深度信念网络的晶圆良率预测方法 | |
| 作者姓名： | 许鸿伟 张洁 吕佑龙 郑鹏 |
| 作者单位： | 东华大学机械工程学院智能制造研究所,上海 201620;上海交通大学机械与动力工程学院智能制造与信息工程研究所,上海 200240 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;上海市青年科技英才"扬帆计划"项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 晶圆良率预测 连续型深度信念网络 晶圆电性测试参数 主成分分析法 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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