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Ag/AuGeNi/n—GaSb欧姆接触的研究
作者姓名:钟兴儒 陶琨
摘    要:研究了Ag/AuGeNi/n-GaSb在150°-450°下合金处理对欧姆接触的影响,最佳合金温度为220℃,此进接触电阻率为6.7×10^-4Ωcm^2。用AES和XRD研究了金属半导体界面处的扩散及物相变化,并讨论了接触电阻率与微结构的关系。

关 键 词:欧姆接触 接触电阻率 微结构 太阳能电池
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