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| 溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的研究进展 | |
| 引用本文： | 向飞.溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的研究进展[J].机电工程技术,2011(8):96-98. |
| 作者姓名： | 向飞 |
| 作者单位： | 广东省机械研究所,广东广州510635 |
| 摘 要： | 溶胶-凝胶法是制备铁电薄膜的一种重要方法.综述了溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的原理、工艺过程、特点,以及采用此方法制备出的某些材料的铁电性能.最后指出,溶胶-凝胶法制备铁电薄膜工艺仍需优化和改进,薄膜的质量亟待提高,以适应器件的要求. |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 铁电薄膜 应用 |
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