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| Ti-Zr-O薄膜制备及碳氢化合物探测性能 | |
| 作者姓名： | 陈绍楷 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 金属氧化物薄膜常被用作气体探测器。为了制备氧化物薄膜，普遍采用化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)法。对于工业化生产，这些方法成本太高，工艺复杂。以溶胶-凝胶(Sol-gel)法为基础的一种浸渍涂层法由于成本较低、技术简单、易于制备均匀薄膜而日益流行。该方法还有其它优点，如结晶温度比其它化学合成方法的低。日本科技人员采用“先进Sol-gel法”制备ZrO2和TiO2-ZrO2的先驱物溶液及薄膜，并测试了对碳氢化合物的敏感性能。 以钛和锆的丁氧醇为原料。ZrO2溶液的制备步骤如下：将锆的丁氧醇溶于苯溶液至浓度为0.5mol/dm3，缓… |
| 关 键 词： | Ti－Zr－O薄膜 制备 碳氢化合物 探测性能 气体探测器 |
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