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| PTB220气压传感器在测量大气压力中的应用 | |
| 引用本文： | 党选发,李晓峰.PTB220气压传感器在测量大气压力中的应用[J].中国计量,2008(3). |
| 作者姓名： | 党选发 李晓峰 |
| 摘 要： | 一、工作原埕
PTB220感应元件采用VISALA研制的硅电容绝对压力传感器BAROCAP,是通过硅微加工而成.PTB220的工作原理是基于一个先进的RC振荡电路和三个参考电容,并且电容压力传感器及电容温度传感器连续测量,微处理器自动进行压力线性补偿及温度补偿.当得到压力变化时,硅薄膜弯曲使传感器真空室高度发生变化,导致传感器电容值发生变化. |
| 关 键 词： | 气压传感器 连续测量 大气压力 电容值 压力变化 发生 高度 真空室 弯曲 硅薄膜 温度补偿 线性补偿 自动 微处理器 温度传感器 电容压力传感器 参考电容 振荡电路 工作原理 硅微加工 |
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