LD—1型离子束镀膜机及其应用

本文首先介绍LD—1型离子束镀膜机的特点、性能和主要技术参数,然后结合一些典型器件工艺,论述LD—1机的用途。最后介绍华南工学院肖金生等人用本机研制CoSi_2—Si异质结的成果,作为本机的一个应用实例。