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| 美国GTAT公司柱状纳米技术或带来LED革命 | |
| 摘 要： | 正GT Advanced Technologies(GTAT)宣布向Kyma Technologies,Inc.收购其等离子体气相淀积(PVD)技术及专门知识的独家使用权。Kyma所开发的等离子体气相淀积柱状纳米技术(PVDNC(TM))可以在氮化镓沉淀前,在晶圆上沉积一层高品质的生长型初始层氮化铝。GT计划将等离子体气相淀积工具商业化,以配合其正在研发的氢化物气相外延(HVPE)系统,该组合将令LED生 |
| 关 键 词： | 等离子体气相淀积 纳米技术 氢化物气相外延 氮化铝 柱状 晶圆 镓沉淀 氮化镓 生长型 专门知识 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |