FSI国际ORION单晶圆清洗系统获得重要半导体制造商订单 |
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作者单位: | 《电子与封装》通讯员 |
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摘 要: | 全球领先的半导体制造晶圆处理、清洗和表面处理设备供应商FSI国际有限公司,日前宣布一家重要半导体制造商订购了该公司的新ORION单晶圆清洗平台。这项订单表明了该客户对2008年5月FSI发运的、用于后段(BEOL)32nm开发项目的评估机台的认可。该系统特有的闭室设计可解决多个关键步骤清洗问题,其中包括控制铜导线中的材料损失和电偶腐蚀(带有和不带金属包覆层),这确保了IC制造商去实现无缺陷下一代铜导线架构。
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关 键 词: | 半导体制造 清洗系统 ORION 制造商 单晶圆 FSI 订单 国际 |
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