| AFM非线性测量的影响因素分析 |
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| 引用本文： | 李家文,李佳,陈宇航,黄文浩. AFM非线性测量的影响因素分析[J]. 电子显微学报, 2009, 28(2): 131-134 |
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| 作者姓名： | 李家文 李佳 陈宇航 黄文浩 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230027;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230027;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230027;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230027 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973计划)，中国科学院知识创新工程项目 |
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| 摘 要： | 原子力显微镜（AFM）已经广泛应用于纳米科技领域。为获得准确的测量结果,对AFM非线性进行测量和校正是非常必要的。AFM非线性的测量方法有电容测微仪法、激光干涉法和扫描图像相关分析法等,其中图像相关分析法具有原位和简单等优点。本文应用图像相关方法,对不同漂移速率和扫描面积情况下的非线性测量结果进行实验对比分析。结果表明,漂移速率和扫描面积是影响图像相关法测量AFM非线性准确性的重要因素。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 非线性 数字图像相关法 |
Influencing factors on AFM nonlinearity characterization |
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| LI Jia-wen,LI Jia,CHEN Yu-hang,HUANG Wen-hao. Influencing factors on AFM nonlinearity characterization[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2009, 28(2): 131-134 |
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| Authors: | LI Jia-wen LI Jia CHEN Yu-hang HUANG Wen-hao |
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| Affiliation: | Department of Precision Machinery and Instrumentation;University of Science and Technology of China;Hefei Anhui 230027;China |
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| Abstract: | Atomic force microscopy(AFM)is a powerful and versatile tool on nano scale. It is essential to characterizing the nonlinearity of AFM in order to acquire accurate images. One method to characterizing the nonlinearity is an approach by using the digital image correlation. In this paper,the factors of drift and scanning size will be discussed. Experiments and analysis show drift and scanning size will affect the characterizing nonlinearity of AFM. |
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| Keywords: | atomic force microscopy nonlinearity digital image correlation |
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