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| 热超声倒装键合机视觉定位系统的设计与实现 | |
| 作者姓名： | 李建平 邹中升 王福亮 |
| 作者单位： | 中南大学,机电工程学院,湖南,长沙,410075 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;教育部留学回国人员科研启动基金 |
| 摘 要： | 通过对芯片热超声倒装键合工艺过程的研究,结合国内外热超声倒装键合设备发展的现状,研制了一台用于芯片的热超声倒装键合机。 |
| 关 键 词： | 热超声倒装 机械视觉 运动控制 HexSight |
| 修稿时间： | 2005-12-12 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
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