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| Mg含量对 MgZnO薄膜光学性质的影响 | |
| 引用本文： | 高丽丽,徐莹,张淼,张跃林,姚斌.Mg含量对 MgZnO薄膜光学性质的影响[J].液晶与显示,2014,29(3):350-354. |
| 作者姓名： | 高丽丽 徐莹 张淼 张跃林 姚斌 |
| 作者单位： | 高丽丽:北华大学 物理学院，吉林 吉林 132013吉林大学 物理学院，吉林 长春 130012 徐莹:吉林大学 物理学院，吉林 长春 130012 张淼:北华大学 物理学院，吉林 吉林 132013 张跃林:北华大学 物理学院，吉林 吉林 132013 姚斌:吉林大学 物理学院，吉林 长春 130012 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.11274135);吉林省教育厅“十二五”科学技术研究项目(No.2013189) |
| 摘 要： | 利用射频磁控溅射技术,高纯的氩气作为溅射气体,分别选用不同Mg含量的MgxZn1-xO陶瓷靶材,在石英衬底上生长六角纤锌矿结构的MgxZn1-xO薄膜,并对薄膜进行了后期热退火处理。研究了Mg含量对MgxZn1-xO薄膜光学性质的影响。实验结果显示,随着Mg含量的增加,薄膜的带隙变宽;光致发光光谱中近带边发射中心蓝移,近带边紫外发射与可见光区深能级发射强度比值减小,发光质量下降;拉曼光谱仍然保持着ZnO的拉曼振动模式,但随着Mg含量的增加,E2high振动峰逐渐展宽,峰型对称性变差。分析表明,随着Mg的合金化,薄膜中产生了更多的杂质缺陷,结晶质量下降。 |
| 关 键 词： | 射频磁控溅射 MgZnO薄膜 Mg含量 光学性能 |
| 收稿时间： | 2014/3/1 |
Effects of Mg content on the optical properties of MgZnO fims |
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| Abstract: | |
| Keywords: | radio frequency magnetron sputtering thin MgZnO films Mg content optical properties |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |