| 基于磁致伸缩多层膜的磁声表面波传感器 |
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| 引用本文： | 刘力,刘国,刘婉,鲁亚巍,白飞明.基于磁致伸缩多层膜的磁声表面波传感器[J].压电与声光,2019,41(3):335-339. |
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| 作者姓名： | 刘力 刘国 刘婉 鲁亚巍 白飞明 |
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| 作者单位： | (1.电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054；2.电子信息控制重点实验室，四川 成都 610036) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61871081)；电子信息控制重点实验室基金资助项目 |
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| 摘 要： | 研究了一种基于FeCoSiB/SiO_2多层膜的磁声表面波(MSAW)传感器,其中FeCoSiB/SiO_2多层膜制备在石英声表面波(SAW)谐振器上。在外加磁场发生变化时,FeCoSiB/SiO_2多层膜通过巨杨氏模量效应影响压电衬底表层的相速度,进而改变SAW的谐振频率。通过设计和优化磁致伸缩多薄膜的结构和软磁性能,不仅获得磁致伸缩层总厚度与谐振器品质因数的关系,而且成功使磁敏传感器的灵敏度(Δf/H,即施加单位磁场时的谐振频率的变化量)提升了2个数量级,达到419 Hz/μT。在此基础下,探讨了Δf-H曲线在难、易轴方向表现出蝴蝶型和回线型特性的机理。由于该传感器具有很高的磁场灵敏度和良好的方向选择性,在微弱磁场(如地磁场)检测领域将具有极高的实用价值。
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| 关 键 词： | 磁传感器 软磁薄膜 杨氏模量效应 各向异性 声表面传感器 |
Magnetic Surface Acoustic Wave Sensor Based on Magnetostrictive Multilayered Films |
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| LIU Li,LIU Guo,LIU Wan,LU Yawei,BAI Feiming.Magnetic Surface Acoustic Wave Sensor Based on Magnetostrictive Multilayered Films[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2019,41(3):335-339. |
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| Authors: | LIU Li LIU Guo LIU Wan LU Yawei BAI Feiming |
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| Affiliation: | (1. State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054, China;
2. Science and Technology on Electronic Information Control Laboratory, Chengdu 610036, China) |
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