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GaSb基垂直腔面发射激光器P面反射镜的优化设计
引用本文:郝永芹,岳光礼,邹永刚,王作斌,晏长岭,马晓辉.GaSb基垂直腔面发射激光器P面反射镜的优化设计[J].红外与毫米波学报,2019,38(2):228-233.
作者姓名:郝永芹  岳光礼  邹永刚  王作斌  晏长岭  马晓辉
作者单位:长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室
基金项目:国家自然基金(11474038,61376045,11474036);吉林省科技发展计划项目(20180519018JH);国家“111” 计划 (D17017)
摘    要:针对当前2μm GaSb基垂直腔面发射激光器发展中由于传统的P面分布布拉格反射镜(P-DBRs)带来的高电阻和严重光吸收这一瓶颈问题,采用严格耦合波方法仿真设计了含高对比度亚波长光栅(HCG)的P面反射镜。实验结果表明,这种制备工艺简单的反射镜在2μm 中心波长附近,TM波入射时反射率超过99.5%的高反射带宽为278nm,反射率99.9%以上的高反射带宽达到148nm,完全能够满足VCSEL对谐振腔镜的要求,且能有效避免因异质外延等造成反射镜衍射特性劣化等问题。

关 键 词:垂直腔面发射激光器  锑化镓  分布布拉格反射镜  高对比度亚波长光栅
收稿时间:2018/9/26 0:00:00
修稿时间:2018/10/31 0:00:00

Optimal design of P-side mirror for GaSb based vertical cavity surface emitting laser
HAO Yong-Qin,YUE Guang-Li,ZOU Yong-Gang,WANG Zuo-Bin,YAN Chang-Ling and MA Xiao-Hui.Optimal design of P-side mirror for GaSb based vertical cavity surface emitting laser[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2019,38(2):228-233.
Authors:HAO Yong-Qin  YUE Guang-Li  ZOU Yong-Gang  WANG Zuo-Bin  YAN Chang-Ling and MA Xiao-Hui
Affiliation:National Key Lab on High-Power Semiconductor Lasers, Changchun University of Science and Technology
Abstract:
Keywords:vertical cavity surface emitting laser (VCSEL)  gallium antimonide (GaSb)  distributed Bragg reflectors (DBRs)  high contrast subwavelength grating (HCG)
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