| GaSb基垂直腔面发射激光器P面反射镜的优化设计 |
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| 引用本文： | 郝永芹,岳光礼,邹永刚,王作斌,晏长岭,马晓辉. GaSb基垂直腔面发射激光器P面反射镜的优化设计[J]. 红外与毫米波学报, 2019, 38(2): 228-233 |
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| 作者姓名： | 郝永芹 岳光礼 邹永刚 王作斌 晏长岭 马晓辉 |
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| 作者单位： | 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然基金（11474038，61376045，11474036）；吉林省科技发展计划项目（20180519018JH）；国家“111” 计划 (D17017） |
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| 摘 要： | 针对当前2μm GaSb基垂直腔面发射激光器发展中由于传统的P面分布布拉格反射镜（P-DBRs）带来的高电阻和严重光吸收这一瓶颈问题，采用严格耦合波方法仿真设计了含高对比度亚波长光栅（HCG）的P面反射镜。实验结果表明，这种制备工艺简单的反射镜在2μm 中心波长附近，TM波入射时反射率超过99.5%的高反射带宽为278nm，反射率99.9%以上的高反射带宽达到148nm，完全能够满足VCSEL对谐振腔镜的要求，且能有效避免因异质外延等造成反射镜衍射特性劣化等问题。
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| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器；锑化镓；分布布拉格反射镜；高对比度亚波长光栅 |
| 收稿时间： | 2018-09-26 |
| 修稿时间： | 2018-10-31 |
Optimal design of P-side mirror for GaSb based vertical cavity surface emitting laser |
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| HAO Yong-Qin,YUE Guang-Li,ZOU Yong-Gang,WANG Zuo-Bin,YAN Chang-Ling and MA Xiao-Hui. Optimal design of P-side mirror for GaSb based vertical cavity surface emitting laser[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2019, 38(2): 228-233 |
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| Authors: | HAO Yong-Qin YUE Guang-Li ZOU Yong-Gang WANG Zuo-Bin YAN Chang-Ling MA Xiao-Hui |
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| Affiliation: | National Key Lab on High-Power Semiconductor Lasers, Changchun University of Science and Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) gallium antimonide (GaSb) distributed Bragg reflectors (DBRs) high contrast subwavelength grating (HCG) |
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