Ar~(+)混合Fe-Dy多层膜的结构及性能 |
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作者姓名: | 李胜利 王佩璇 阎凤章 马如璋 |
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作者单位: | 北京科技大学,北京师范大学,北京科技大学 |
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摘 要: | 用真空双源蒸镀法在Si单晶衬底上制备了Fe,Dy原子数比为3:2的Fe─Dy成分调制多层膜.用AES、RBS、X射线衍射(XRD)以及磁性测量分析了Ar~(+)混合前后Fe─Dy多层膜的相交.Ar~(+)离子注入能量110keV,剂量5×10~(15)─1×10~(17)/cm~2.结果表明,注入剂量为1×10~(17)/cm~2时,Fe,Dy完全混合,并且由晶态的Fe,Dy完全转变为Fe_(60)Dy_(40)(近似于该化学配比)的非晶态合金,随Ar~(+)注入量的增加,Fe一Dy多层膜的M_s下降,在剂量50×10~(15)/cm~2时下降幅度最大。
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关 键 词: | Fe─Dy多层膜,离子束混合,非晶化,磁性 |
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