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碲锌镉单晶体生长参数的实时监控
引用本文:宋德杰,谭博学,韩涛,孙稳稳.碲锌镉单晶体生长参数的实时监控[J].测控技术,2013,32(10):21-24.
作者姓名:宋德杰  谭博学  韩涛  孙稳稳
作者单位:山东理工大学电气与电子程学院,山东淄博,255049
基金项目:国家自然科学基金资助项目(50372036)
摘    要:碲锌镉晶体生长质量与生长条件有着密切的关系.实时检测晶体生长参数,改进生长条件是生长高质量晶体的关键.为此设计了一个参数监控系统,实现对碲锌镉晶体生长过程参数的实时监控、记录、存储和显示.通过对各控制参数数据分析和比较,找到了碲锌镉单晶体生长缺陷的根源,改进了生长设备,制备出了高质量的碲锌镉单晶体.

关 键 词:碲锌镉单晶体  晶体生长设备  晶体生长参数  数据采集

Real-Time Monitoring of CdZnTe Single Crystal Growth Parameters
SONG De-jie , TAN Bo-xue , HAN Tao , SUN Wen-wen.Real-Time Monitoring of CdZnTe Single Crystal Growth Parameters[J].Measurement & Control Technology,2013,32(10):21-24.
Authors:SONG De-jie  TAN Bo-xue  HAN Tao  SUN Wen-wen
Abstract:
Keywords:CdZnTe single crystal  crystal growth equipment  crystal growth parameters  data acquisition
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