| 大规模真空蒸镀二氧化钛薄膜及其表征 |
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| 引用本文： | 彭晓光,汪洋,曹开斌,孙法. 大规模真空蒸镀二氧化钛薄膜及其表征[J]. 功能材料, 2008, 39(11) |
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| 作者姓名： | 彭晓光 汪洋 曹开斌 孙法 |
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| 作者单位： | 浙江理工大学,材料与纺织学院,浙江,杭州,310018;浙江理工大学,材料与纺织学院,浙江,杭州,310018;兰州交通大学,光电子技术和智能控制教育部重点实验室,甘肃,兰州,730070 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目 |
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| 摘 要： | 采用大型真空镀膜设备在玻璃基底上蒸镀二氧化钛(TiO2)薄膜,并对TiO2薄膜进行了SEM、AFM、XRD、紫外可见光吸收光谱、亲水性的测试及分析,探讨了退火温度对薄膜性能的影响.结果表明制备的TiO2薄膜具有良好的均匀性.在室温条件下,TiO2薄膜具有无定型的结构;在300～500℃的条件下,TiO2薄膜退火2h后以锐铁矿晶型为主,600℃退火的TiO2薄膜明显向金红石型转变.随退火温度的升高,薄膜对紫外光和可见光的吸收有明显提高,并出现了明显的红移现象.另外,亲水性也随退火温度的升高而变强,500和600℃退火的TiO2薄膜表面出现超亲水性.
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| 关 键 词： | TiO2 薄膜制备 真空蒸镀 亲水性 |
Large-scale fabrication by vacuum evaporation and characterization of TiO2 thin films |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2 |
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