| 硅微机械传感器的技术特点及发展趋势 |
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| 引用本文： | 刘月明,刘君华,张少君. 硅微机械传感器的技术特点及发展趋势[J]. 仪表技术与传感器, 2000, 0(2): 1-3,20 |
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| 作者姓名： | 刘月明 刘君华 张少君 |
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| 作者单位： | 1. 西安交通大学,西安市,710049
2. 西安理工大学,西安市,710048 |
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| 基金项目： | 国家自然基金资助项目(69776037) |
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| 摘 要： | 基于硅微机械传感器的技术特点，分析了这类传感器的发展趋势，同时指出了它进一步发展中急需解决的几个问题。
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| 关 键 词： | 硅 微机械 传感器 技术特点 发展趋势 微型化 |
The Technical Features and Developing Trends of Micromachined Silicon Sensors |
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| Liu Yueming,Liu Junhua,Zhang shaojun. The Technical Features and Developing Trends of Micromachined Silicon Sensors[J]. Instrument Technique and Sensor, 2000, 0(2): 1-3,20 |
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| Authors: | Liu Yueming Liu Junhua Zhang shaojun |
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| Abstract: | The trends of micromachined silicon sensors are introduced based on the technical features of the sensors and the urgent problem in the developing process of the sensors are pointed out. |
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| Keywords: | Silicon Micromachined Sensors Technical Features Developing Trends |
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