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摘 要:
纳米SiO2掺杂的In2O3厚膜气敏传感器稳定性研究摘要:采用丝网印刷技术.制备了纳米SiO2掺杂的In2O3厚膜气敏传感器.并通过加速寿命试验对乙醇气氛下传感器的稳定性进行探究。通过长期测试发现纳米SiO2的掺入明显地提高了In2O3气敏传感器的稳定性。此外.当SiO2的掺杂浓度控制在5wt%左右时.In2O3气敏传感器的气敏性能也有了很大的提高。结合实验数据,对SiO2提高In2O3气敏传感器稳定性与敏感性的微观机理做了深入分析。
关 键 词:
摘要
纳米SiO2
气敏传感器
In2O3
加速寿命试验
丝网印刷技术
稳定性
长期测试
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