氧化锆基片式NO_x气体传感器的研制 |
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作者姓名: | 冯涛 王培 景文峰 粘洪强 蒋丹宇 徐兵 夏金峰 黄德信 |
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作者单位: | [1]中国科学院上海硅酸盐研究所,上海201800 [2]中核四0四有限公司第四分公司,甘肃兰州732850 |
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基金项目: | 质检公益性行业科研专项基金资助项目(项目编号:20130260) |
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摘 要: | 采用具有自主知识产权的制备工艺流程,制备了氧化锆基NOx气体传感器。首先配制了性能良好的5mol%-ZrO2浆料,流延成型得到了氧化锆陶瓷素坯基片,经过剪裁、冲孔、开槽、丝网印刷等工艺,制备了传感器素坯,经过1450℃2h烧结得到了氧化锆基NOx传感器。应用线性伏安法初步测试了该NOx气体传感器的性能。制备的NOx气体传感器具有良好的NOx气体响应性能。初步性能测试结果表明,传感器的电流值和NO2气体浓度之间存在着强的线性相关性,线性相关系数99.27%,电流值在0.136A~0.142A之间,传感器的线性范围为:200ppm~2000ppm。
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关 键 词: | 氧化锆 氧氮化物 气体传感器 |
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