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| 光学面形检测仪 | |
| 作者姓名： | 苗静 |
| 摘 要： | 该仪器采用相移式横向剪切干涉技术,是一种数字波面测试技术.其原理是将相干两个剪切波面中的一个波面作阶梯式或连续变化,从而使干涉场中的干涉条纹作阶梯式或连续式扫描,用CCD相机获取干涉场中各点的光强,利用图像中各点光强的变化关系,求出被测波面的位相信息或波面面形.由于横向剪切干涉技术是利用被测波面自身实现干涉的,不需要标准的参考面,测试装置简单、测量速度快、测量精度高,且可以实时对剪切干涉图进行采集与处理,得到被测原始波面的信息. |
| 关 键 词： | 横向剪切 干涉技术 干涉场 采集与处理 测试技术 干涉条纹 剪切波面 阶梯式 剪切干涉 测试装置 |
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