楔形镜精密测量装置的研制 |
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引用本文: | 张家耕.楔形镜精密测量装置的研制[J].天津工业大学学报,2002,21(2):56-57,61. |
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作者姓名: | 张家耕 |
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摘 要: | 从锗光楔的测量特点出发,采用多自由度精密测微技术,同时利用微机控制下的细分驱动技术,制成楔形镜精密测量装置,提高了测角精度,实际应用中,配合计算机对数字信号的采样及分析处理,有效地完成了对楔角的测量,该测量装置结构紧凑,传动误差小,亦可作为一般光学玻璃的角度测量和分度使用。
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关 键 词: | 楔形镜精密测量装置 楔形角 微机 角度测量 锗光楔 |
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