| 基于PERL技术的硅基PIN光电二极管的设计与仿真 |
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| 引用本文： | 耿博耘,刘锋,吕菲,韩焕鹏.基于PERL技术的硅基PIN光电二极管的设计与仿真[J].光电子技术,2012(3):160-165. |
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| 作者姓名： | 耿博耘 刘锋 吕菲 韩焕鹏 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团第四十六研究所 |
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| 摘 要： | 缺乏高质量的硅光电接受器件一直制约着全硅光电子回路的发展。分析讨论了PERL太阳能电池的高效光电特性技术,并将其应用于硅光电二极管,设计了一种高响应度,高截止频率的硅基PIN光电二极管的器件结构,说明了该结构的技术特点与制备工艺。使用SUPREM-IV仿真器对该器件进行了模拟仿真,讨论了I层的长度与厚度对器件性能的影响。
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| 关 键 词： | PERL技术 硅基PIN光电二极管 SUPREM-IV模拟仿真 |
Design and Simulation of Silicon PIN Photodiode Based on the PERL Technology |
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| Geng Boyun Liu Feng Lv Fei Han Huanpeng.Design and Simulation of Silicon PIN Photodiode Based on the PERL Technology[J].Optoelectronic Technology,2012(3):160-165. |
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| Authors: | Geng Boyun Liu Feng Lv Fei Han Huanpeng |
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| Affiliation: | Geng Boyun Liu Feng Lv Fei Han Huanpeng(China Electronics Technology Group Corporation No.46 Research Institute,Tianjin 300220,CHN) |
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