三种超高真空材料的热解吸分析

用线性升温法对不同方法预处理过的 ＧＨ３９、 １Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ不锈钢及 ＬＦＭ铝样品进行热解吸实验研究，得到主要解吸气体为Ｈ２、Ｈ２Ｏ、ＣＯ和ＣＯ２，测得了出气峰位温度、峰值速度及单位表面积的组份出气量和总出气量，估算了气体的脱附级数和脱附激活能，分析比较了这些材料的吸、放气特性，估计了烘烤除气的效果。