| 基于Allan方差法的MEMS惯性器件随机噪声分析 |
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| 引用本文： | 李嘉乐,付继华,李智涛,杨敬松.基于Allan方差法的MEMS惯性器件随机噪声分析[J].传感器世界,2021,27(10):31-35. |
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| 作者姓名： | 李嘉乐 付继华 李智涛 杨敬松 |
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| 作者单位： | 防灾科技学院,河北三河 065201;防灾科技学院,河北三河 065201;应急管理部国家自然灾害防治研究院,北京 100085;应急管理部国家自然灾害防治研究院,北京 100085 |
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| 摘 要： | 地震仪测量的通常为水平分量,而对旋转分量的测量与研究还相对较少.单独运用陀螺仪测量振动的旋转分量,准确度不高,而且测量结果的漂移量较大.基于MEMS惯性器件的无陀螺捷联惯导技术或者陀螺仪-加速度计组合技术,为六自由度振动测量提供了便利.由于受其加工工艺的限制,MEMS惯性器件的测量精度还存在较大的差异,因此需要对MEMS惯性器件的误差特性进行对比测试与分析.文章应用Allan方差法对两种MEMS惯性器件的随机噪声进行了分析,得到了量化噪声、速度随机游走、零偏不稳定性、加速度随机游走、速率斜坡等5项随机噪声指标.随机噪声分析的结果表明,Allan方差法能有效地对MEMS惯性器件的随机噪声进行评估和分析.
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| 关 键 词： | MEMS传感器 Allan方差 随机噪声 对比分析 |
Random Noise Analysis of MEMS Inertial Devices Based on Allan Variance Method |
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| LI Jiale,FU Jihua,LI Zhitao,YANG Jingsong.Random Noise Analysis of MEMS Inertial Devices Based on Allan Variance Method[J].Sensor World,2021,27(10):31-35. |
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| Authors: | LI Jiale FU Jihua LI Zhitao YANG Jingsong |
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