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| 用化学汽相沉积法在刀具材料表面形成金刚石薄膜 | |
| 引用本文： | 金曾孙,吕宪义,等.用化学汽相沉积法在刀具材料表面形成金刚石薄膜[J].真空,1990(1):28-31. |
| 作者姓名： | 金曾孙 吕宪义 |
| 作者单位： | 吉林大学原子与分子物理研究所 (金曾孙，吕宪义，皇甫萍)，吉林大学原子与分子物理研究所(邹广田) |
| 摘 要： | 本文采用热解化学气相沉积方法，以甲烷和氢气为原料气体，在刀具材料－硬质合金，金刚石烧结体和立方氮化硼烧结体表面形成了金刚石薄膜，而且研究了金刚石在上述材料表面上的生长特性。 |
| 关 键 词： | 化学气相沉积 刀具 金刚石薄膜 硬质合金 金刚石烧结体 立方氮化硼烧结体 |
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