| AZO透明导电薄膜的特性、制备与应用 |
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| 引用本文： | 范志新.AZO透明导电薄膜的特性、制备与应用[J].真空,2000(5):10-13. |
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| 作者姓名： | 范志新 |
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| 作者单位： | 河北工业大学应用物理系,天津 |
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| 摘 要： | 本文综述了ＡＺＯ透明导电薄膜的结构特点，电学和光学的特性，薄膜研究、应用和开发现状，认为ＡＺＯ薄膜具有较好的开发前景。
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| 关 键 词： | 特性 制备 应用 AZO 掺铝氧化锌 透明导电薄膜 |
| 修稿时间： | 2000-09-07 |
Properties |
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| FAN Zhi xin,CHEN Jiu lin,SUN Yi cai.Properties[J].Vacuum,2000(5):10-13. |
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| Authors: | FAN Zhi xin CHEN Jiu lin SUN Yi cai |
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| Abstract: | In this paper, the micro structural, electrical and optical properties of AZO transparent conducting films are described and the present AZO thin films development and applications are given. So far as we know the AZO thin films developing prospects are concluded. |
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| Keywords: | AZO thin films properties preparation application |
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