| 高温退火处理提高半绝缘VGF-GaAs单晶的电学性能 |
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| 引用本文： | 占荣,赵有文,于会永,高永亮,惠峰. 高温退火处理提高半绝缘VGF-GaAs单晶的电学性能[J]. 半导体学报, 2008, 29(9) |
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| 作者姓名： | 占荣 赵有文 于会永 高永亮 惠峰 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 摘 要： | 垂直梯度凝固法(VGF)生长的低位错半绝缘(SI)GaAs单晶存在电阻率和迁移率低、电学补偿度小、均匀性差等问题.在3种不同温度条件下,对VGF-SI-GaAs晶片进行了加As压的闭管退火处理.结果表明,经过1160℃/12h的高温退火处理后,VGF-SI-GaAs单晶的电阻率、迁移率和均匀性均得到了显著提高.利用Hall、热激电流谱(TSC)、红外吸收法分别测试分析了原生和退火VGF-SI-GaAs单晶样品的电学性质、深能级缺陷、EL2浓度和C浓度,并与常规液封直拉法(LEC)SI-GaAs单晶样品进行了比较.原生VGF-SI-GaAs单晶巾的EL2浓度明显低于LEC-SI-GaAs单晶,经过退火处理后其EL2浓度显著增加,电学补偿增强,而且能级较浅的一些缺陷的浓度降低,因而有效提高了其电学性能.
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| 关 键 词： | 垂直梯度凝固法 半绝缘砷化镓 电学补偿 缺陷 |
Improvement of the Electrical Property of Semi-Insulating VGF-GaAs Through High Temperature Annealing |
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| Zhan Rong,Zhao Youwen,Yu Huiyong,Gao Yongliang,Hui Feng. Improvement of the Electrical Property of Semi-Insulating VGF-GaAs Through High Temperature Annealing[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2008, 29(9) |
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| Authors: | Zhan Rong Zhao Youwen Yu Huiyong Gao Yongliang Hui Feng |
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