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静压驱动下微流体的流动特性
引用本文:吴昌聚,金小军,金仲和,王跃林.静压驱动下微流体的流动特性[J].半导体学报,2008,29(5).
作者姓名:吴昌聚  金小军  金仲和  王跃林
作者单位:浙江大学信息与电子工程系,杭州,310027
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划)
摘    要:从微沟道的加工工艺出发,建立了一套利用静压驱动微流体的测试方法.该方法比较容易实现压差的恒定.分析了不同因素如压差、工作流体类型、温度等因素对流体流动特性的影响,既得到了一些和宏观流体相同的流动特性,也得到了微流体所特有的流动特性.这些结果不仅为理解微流体的流动特性提供了新的证据,而且也为利用微流体的某些流动特性制作器件提供了新的参考.

关 键 词:微流体  流动特性  静压  粘度

Flow Characteristics of Fluids in a Microchannel Driven by Hydrostatic Pressure
Wu Changju,Jin Xiaojun,Jin Zhonghe,Wang Yuelin.Flow Characteristics of Fluids in a Microchannel Driven by Hydrostatic Pressure[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(5).
Authors:Wu Changju  Jin Xiaojun  Jin Zhonghe  Wang Yuelin
Abstract:
Keywords:
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