| AlGaN/GaN型气敏传感器对于C0的响应研究 |
| |
| 引用本文： | 冯春,王晓亮,王新华,肖红领,王翠梅,胡国新,冉军学,王军喜.AlGaN/GaN型气敏传感器对于C0的响应研究[J].半导体学报,2008,29(7):1387-1390. |
| |
| 作者姓名： | 冯春 王晓亮 王新华 肖红领 王翠梅 胡国新 冉军学 王军喜 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
| |
| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程项目，国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| |
| 摘 要： | 研究了基于AlGaN/GaN型结构的气敏传感器对于C0的传感性.制备出AlGaN/GaN型气敏传感器器件,并测试得到了器件在50℃时对于不同浓度(1%,9000,8000,5000和1000ppm)的C0的响应情况;测试并分析了1%CO在50和100℃下响应度的差异,计算了通人1%CO前后器件的肖特基势垒高度的变化和灵敏度随电压的分布关系.结果表明,器件的灵敏度强烈依赖于器件的工作温度和通入的气体浓度,随着温度和浓度的增加,器件的灵敏度呈单调增加,器件在100℃空气气氛中表现出了良好恢复性能.
|
| 关 键 词： | AlGaN/GaN C0 传感器 |
A Carbon Monoxide Gas Sensor Based on an AlGaN/GaN Structure |
| |
| Feng Chun,Wang Xiaoliang,Wang Xinhua,Xiao Hongling,Wang Cuimei,Hu Guoxin,Ran Junxue,Wang Junxi.A Carbon Monoxide Gas Sensor Based on an AlGaN/GaN Structure[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(7):1387-1390. |
| |
| Authors: | Feng Chun Wang Xiaoliang Wang Xinhua Xiao Hongling Wang Cuimei Hu Guoxin Ran Junxue Wang Junxi |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|
