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CMOS射频集成电路ESD保护的挑战
引用本文:王自惠,林琳,王昕,刘海南,周玉梅.CMOS射频集成电路ESD保护的挑战[J].半导体学报,2008,29(4).
作者姓名:王自惠  林琳  王昕  刘海南  周玉梅
作者单位:1. Department of Electrical Engineering,University of California,Riverside,CA 92521,USA
2. 中国科学院微电子研究所,北京,100029,中国
基金项目:国家自然科学基金,Citrus Com Semiconductor资助项目
摘    要:随着集成电路(IC)T艺进入深亚微米水平,以及射频(Radi0.Frequency,RF)IC工作频率向数千兆赫兹频段迈进,片上防静电泄放(ESD)保护设计越来越成为RF IC设计的挑战.产生这一挑战的关键原因在于ESD保护电路和被保护的RF IC核电路之间存在着不可避免的复杂交互影响效应.本文讨论了RF ESD保护的研究和设计领域的最新动态,总结了所出现的新挑战、新的设计方法和最新的RF ESD保护解决方案.

关 键 词:静电泄放  ESD保护  射频ESD  寄生效应

Emerging Challenges in ESD Protection for RF ICs in CMOS
Wang Albert,Lin Lin,Wang Xin,Liu Hainan,Zhou Yumei.Emerging Challenges in ESD Protection for RF ICs in CMOS[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(4).
Authors:Wang Albert  Lin Lin  Wang Xin  Liu Hainan  Zhou Yumei
Abstract:On-chip electrostatic discharge (ESD) protection design has become an emerging challenge for radio-frequency(RF) integrated circuits (IC) design as IC technologies migrate into the very-deep-sub-micron (VDSM) regime and RFICs move into multi-GHz operations. The key problem originates from the complex interaction between the ESD protec-tion circuitry and the core RF IC circuit under protection. This paper discusses the recent development in RF ESD protec-tion research and design,outlining emerging challenges,new design methods,and novel RF ESD protection solutions.
Keywords:electrostatic discharge  ESD protection  RF ESD  parasitic
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