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基于MMIC工艺的片上射频LC无源滤波器
引用本文:武锐,廖小平,张志强.基于MMIC工艺的片上射频LC无源滤波器[J].半导体学报,2008,29(12).
作者姓名:武锐  廖小平  张志强
作者单位:东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
基金项目:国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划(863计划)
摘    要:设计、制作了几种基于MMIC工艺的片上LC低通/带通滤波器并进行了测试.测试结果表明,一个3nH的MMIC电感在6.8GHz下品质因数达到13.8.自谐振频率达到15.5GHz;制作的LC低通/带通滤波器的截止频率或中心频率与设计偏差很小,分别为2%和3.3%;低通滤波器在各自通带内的插入损耗小于3dB,带通滤波器在中心频率的插入损耗为7.2dB.

关 键 词:LC无源滤波器  电感  电容  MMIC

MMIC-Based RF On-Chip LC Passive Filters
Wu Rui,Liao Xiaoping,Zhang Zhiqiang.MMIC-Based RF On-Chip LC Passive Filters[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(12).
Authors:Wu Rui  Liao Xiaoping  Zhang Zhiqiang
Abstract:
Keywords:
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