| 基于最小二乘拟合的不同探针测量线宽的比较 |
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| 引用本文： | 褚巍,赵学增,Joseph Fu,肖增文. 基于最小二乘拟合的不同探针测量线宽的比较[J]. 哈尔滨工业大学学报, 2004, 36(11): 1514-1519 |
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| 作者姓名： | 褚巍 赵学增 Joseph Fu 肖增文 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学,机电工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001
2. Precision Engineering Division,National Institute of Standards and Technology,Gaithersburg,MD 20899,USA |
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| 摘 要： | AFM探针的形貌和尺寸对纳米尺度线宽的测量有较大影响．首先建立了一个基于最小二乘的应用于AFM测量技术的线宽计量模型，并使用三种不同探针在NanoScopeⅢa型AFM上对设计线宽尺寸为1000nm的样本进行了测量．应用该模型和算法对线宽进行计算，揭示出探针尺寸对线宽测量结果的影响以及该模型对探针尺寸的依赖性．
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| 关 键 词： | 线宽 原子力显微镜 探针 最小二乘拟合 |
| 文章编号： | 0367-6234(2004)11-1514-06 |
| 修稿时间： | 2003-08-25 |
Comparison of linewidth measurement using different probe based on the least square fitting model |
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| CHU Wei,ZHAO Xue-zeng,Joseph Fu,XIAO Zeng-wen. Comparison of linewidth measurement using different probe based on the least square fitting model[J]. Journal of Harbin Institute of Technology, 2004, 36(11): 1514-1519 |
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| Authors: | CHU Wei ZHAO Xue-zeng Joseph Fu XIAO Zeng-wen |
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| Affiliation: | CHU Wei~1,ZHAO Xue-zeng~1,Joseph Fu~2,XIAO Zeng-wen~1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | linewidth atomic force microscope probe least square fitting |
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