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NiTi形状记忆合金表面改性绝缘膜的研究
引用本文:陈斌,陈非霞,崔立山,杨大智,朱英臣. NiTi形状记忆合金表面改性绝缘膜的研究[J]. 材料研究学报, 1994, 8(4): 319-321
作者姓名:陈斌  陈非霞  崔立山  杨大智  朱英臣
作者单位:大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室,大连大学
摘    要:用三级反应溅射离子镀法在NiTi形状记忆合金基片上镀制TaN膜,并在600℃干燥空气中氧化1h,形成氧化膜。研究了氧化后的TaN膜的性能及其成分和结构,结果表明:膜完全氧化成TaO.Ta,N,O等在膜中分布比较均匀,它的韧性良好,与基体结合强度高,绝缘性良好;膜-基体间约有40nm的离子束混合区。

关 键 词:形状记忆合金 表面改性 镍钛合金
收稿时间:1994-08-25
修稿时间:1994-08-25

STUDY ON SURFACE ISOLATION FILM OF NiTi SHAPE MEMORY ALLOY
CHEN Bin,CHEN Feixia,CUI Lishan,YANG Dazhi ZHU Yingchen. STUDY ON SURFACE ISOLATION FILM OF NiTi SHAPE MEMORY ALLOY[J]. Chinese Journal of Materials Research, 1994, 8(4): 319-321
Authors:CHEN Bin  CHEN Feixia  CUI Lishan  YANG Dazhi ZHU Yingchen
Affiliation:CHEN Bin; CHEN Feixia; CUI Lishan; YANG Dazhi (Dalian University of Technology)ZHU Yingchen (Dalian University)
Abstract:
Keywords:NiTi shape memory alloy   surface modification   isolation film  
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