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| 电子束辅助热丝CVD法在Si（100）衬底上织构生长金刚石薄膜 | |
| 作者姓名： | 傅广生 王晓辉 于威 韩理 |
| 作者单位： | 河北大学物理系 |
| 摘 要： | 电子束辅助热丝ＣＶＤ法在Ｓｉ（１００）衬底上织构生长金刚石薄膜傅广生，王晓辉，于威，韩理（河北大学物理系保定０７１００２）织构生长的金刚石薄膜以其优异的光学、半导体和电学性能而具广泛的应用前景，它一直受到众多研究者的关注。由于金刚石与所用的衬底材料（... |
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