单应变片型硅压力检测元件及FP101型高精度压力传感器

本文介绍一种由半导体圆形硅膜片及具有独特形状的单一式横向效应型应变片(TVT:Transverse voltage Type)和安装在该应变片近旁的放大器组成的具有高精度,高稳定性的硅压力检测元件的原理和结构。同时对使用这种检测元件制造的高精度压力传感器的特点、结构和性能,也作了论述。