用高频溅射法研制具有光电导特性的碲锡铅薄膜

一、前言碲锡铅(PbSnTe)是目前国内外正在广泛而深入研究的一种Ⅳ—Ⅵ族合成固溶体化合物。它不仅是用来制造长波红外探测器的本征半导体材料,而且也是激光长波接收器材料。在用于高分辨率的长波扫描装置方面,它和HgCdTe阵列相竞争。采用高频溅射法是深入研制具有光电导性能的PbSnTe薄膜的途径之一。