| 不同结构多层PZT薄膜的制备及性能特性研究 |
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| 引用本文： | 郑俊华,谭秋林,唐力程,熊继军.不同结构多层PZT薄膜的制备及性能特性研究[J].压电与声光,2016,38(4):655-658. |
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| 作者姓名： | 郑俊华 谭秋林 唐力程 熊继军 |
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| 作者单位： | （1.中北大学 电子测试技术国家重点实验室，山西 太原 030051;2.中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西 太原 030051） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（51205373,61335008） |
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| 摘 要： | 采用相同的工艺分别制备了锆钛酸铅(PZT,r(Zr)/r(Ti)=52/48)与钛酸铅(PT)两种前驱体,并通过溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备了PZT,PT/PZT-PZT/PT,PT/PZT/-/PZT/PT 3种不同结构的多层PZT薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)测试了薄膜的结构,选用XRD分析了薄膜的结晶取向,采用阻抗分析仪测试了薄膜的介电常数、介电损耗及电压-电容曲线,使用铁电性能测试系统测试了薄膜的铁电性。实验结果表明,PT/PZT/-/PZT/PT结构的薄膜相对于其他两种结构的薄膜具有较高的红外探测率与剩余极化强度及较小的介电损耗,具有强大的应用潜能。
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| 关 键 词： | 多层锆钛酸铅/钛酸铅(PT/PZT)薄膜 不同结构 压电材料 溶胶-凝胶法 介电性 铁电性 |
Research on Preparation and Property of PZT Multilayered Thin Films with Different Structures |
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| ZHENG Junhu,TAN Qiulin,TANG Licheng,and XIONG Jijun.Research on Preparation and Property of PZT Multilayered Thin Films with Different Structures[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2016,38(4):655-658. |
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| Authors: | ZHENG Junhu TAN Qiulin TANG Licheng and XIONG Jijun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Multilayer PT/PZT thin films different structures piezoelectric materials Sol Gel method dielectric properties ferroelectric properties |
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