| 高灵敏度硅酸镓镧声表面波压力传感器研究 |
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| 引用本文： | 陈高丁,李红浪,柯亚兵,朱波,陈淑芬,何世堂.高灵敏度硅酸镓镧声表面波压力传感器研究[J].压电与声光,2016,38(4):519-522. |
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| 作者姓名： | 陈高丁 李红浪 柯亚兵 朱波 陈淑芬 何世堂 |
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| 作者单位： | （1.北京理工大学 光电学院,北京 100081; 2.中国科学院 声学研究所,北京 100190; 3.燕山大学 电气工程学院,河北秦皇岛 066004） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(11174318，11304346)；国家高技术研究发展计划(“八六三”计划)基金资助项目(SS2013AA041103)；〖JP〗北京市科技计划课题基金资助项目(Z141100003814016) |
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| 摘 要： | 为提高硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)压力传感器的灵敏度,研究了一种采用点压式压力传递结构的SAW压力传感器。理论上采用压电微扰理论和有限元法结合,使用有限元法获得压力作用下LGS基片的应力、应变,并将该应力、应变量代入叠加偏载的电弹方程和一阶微扰方程,求得传感器的压力灵敏度。计算表明0~0.4 MPa压力范围内其归一化压力灵敏度为0.065×10-6/psi,与空腔结构LGS SAW压力传感器相比,该结构的灵敏度提高了约9倍。基于上述分析结构,制作了一种基于LGS(0°,138.5°,26.7°)的点压式压力传递结构的SAW传感器,实验结果和理论分析吻合。
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| 关 键 词： | 声表面波(SAW) 压力传感器 硅酸镓镧(LGS) 点压力式 |
Research on High Sensitivity Surface Acoustic Wave Pressure Sensor Based on Langasite |
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| CHEN Gaoding,LI Honglang,KE Yabing,ZHU Bo,CHEN Shufen and HE Shitang.Research on High Sensitivity Surface Acoustic Wave Pressure Sensor Based on Langasite[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2016,38(4):519-522. |
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| Authors: | CHEN Gaoding LI Honglang KE Yabing ZHU Bo CHEN Shufen and HE Shitang |
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| Affiliation: | (1.School of Optoelectronice, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China;,2.Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China;,3.School of Electrical Engineering, Yanshan University, qinhuangdao 066004, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface acoustic wave(SAW) pressure sensor langasite(LGS) point pressure forced |
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