| ZnO压敏陶瓷溅射金属化的研究 |
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| 引用本文： | 陶晔波,徐晓,金浩,冯斌,王德苗. ZnO压敏陶瓷溅射金属化的研究[J]. 压电与声光, 2016, 38(4): 603-606 |
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| 作者姓名： | 陶晔波 徐晓 金浩 冯斌 王德苗 |
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| 作者单位： | （1.浙江大学 信息与电子工程学院，浙江 杭州 310027；2.昆山万丰电子有限公司，江苏 昆山 215313；,3.浙江大学 昆山创新中心 先进电子专用设备研发中心，江苏 昆山 251300；4.苏州求是真空电子有限公司，江苏 昆山 215300） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61204124);中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(2014QNA5002） |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射工艺实现氧化锌压敏陶瓷的金属化,提出以三层电极膜系(镍铬/铜/银)的结构来获得更优的机械性能和电性能。与传统丝印烧结银浆金属化工艺相比,磁控溅射工艺绿色环保,溅射电极的厚度可控,与基底的附着力更强,且具有更优的电性能。研究结果表明,采用磁控溅射工艺,膜层附着力可以从9.7 MPa提高到13.9 MPa;器件的非线性系数和压敏电压分别增加了45.5%和5.6%,漏电流降低了55%;经过125℃、100h的高温负荷寿命试验后,压敏电压变化率从1.32%降低到了0.61%。对于氧化锌压敏电阻,磁控溅射法制备的三层膜电极的电气性能、机械性能和可靠性均远优于烧银电极,具有良好的应用前景。
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| 关 键 词： | 氧化锌 压敏陶瓷 金属化 磁控溅射 电性能 |
Study on Metallization of ZnO based Voltage Sensitive Ceramics Using Magnetron Sputtering Technology |
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| TAO Yebo,XU Xiao,JIN Hao,FENG Bin,and WANG Demiao. Study on Metallization of ZnO based Voltage Sensitive Ceramics Using Magnetron Sputtering Technology[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2016, 38(4): 603-606 |
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| Authors: | TAO Yebo XU Xiao JIN Hao FENG Bin and WANG Demiao |
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| Affiliation: | (1.College of Information Science & Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China;,2.Kunshan Wanfeng Electronics Co., Ltd., Kunshan 215313, China; 3.Zhejiang University Kunshan Innovation Center,,Advanced Electronic Special Equipment Research and Development Center, Kunshan 215300, China;,4.Suzhou Advanced Vacuum Electronic Equipment Co., Ltd.,Kunshan 215300, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO ceramics voltage sensitive ceramics metallization magnetron sputtering electric properties |
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