电容式压力传感器的开关电容接口 |
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引用本文: | 黄跃安,戴克中.电容式压力传感器的开关电容接口[J].工业仪表与自动化装置,1993(6):47-49. |
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作者姓名: | 黄跃安 戴克中 |
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作者单位: | 长城计算机集团武汉分公司,武汉化工学院 |
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摘 要: | 引言目前,扩散硅压阻式桥路和离子注入式硅膜片集成压力传感器的线性都很好,但它们的温度特性差,功耗也较大。相比之下,电容式压力传感器的温度特性要好得多,功耗也小。它的灵敏度是压阻桥路压力传感器的10~20倍,正在研制中的开关—电容(SC)接口非常适用于
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关 键 词: | 电容式 压力传感器 开关电容 |
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